Zes nieuwe projecten van start binnen NXTGEN Hightech
Vanaf 2025 starten er zes nieuwe projecten binnen het NXTGEN Hightech-programma. Deze projecten zijn voortgekomen uit de NWO call eerder dit jaar. Onderzoekers verbonden aan verschillende kennisinstellingen en uit het bedrijfsleven werken samen in deze projecten. Er wordt binnen de projecten onderzoek gedaan naar innovaties binnen de domeinen semiconductors, biomedische productietechnologie en systems engineering.
In totaal krijgen de consortia ruim 11 miljoen euro aan subsidie. De cofinanciers van de projecten zorgen daarnaast voor 5 miljoen euro extra aan financiering. Deze toewijzingen zijn gedaan in het kader van de eerste call for proposals voor ‘Toekomstbestendige hightech apparatuur’. Deze call for proposals vroeg specifiek om onderzoeksvoorstellen die de huidige kracht van Nederland op het gebied van hightech apparatuur zouden handhaven en versterken.
Overzicht van de toegewezen projecten
Next-generation High-tech Systems Engineering: Modular design of complex dynamical systems
Hoofdaanvrager: prof. dr. ir. N. van de Wouw – TU/e
Mede aanvrager: Prof. Dr. Ir. B. Besselink – Rijksuniversiteit Groningen
Het behouden van de internationaal toonaangevende positie van de hightech-industrie is cruciaal voor de Nederlandse economie, maar dit vraagt om antwoorden op twee belangrijke uitdagingen: de enorm toegenomen complexiteit van technologische systemen en het tekort aan gekwalificeerde ingenieurs. In dit voorstel wordt een innovatieve methode voor systeemontwerp ontwikkeld die deze uitdagingen aanpakt door systemen volledig modulair te ontwerpen en het ontwerpproces te automatiseren. Deze schaalbare en modulaire aanpak zal worden toegepast voor innovatief machineontwerp in de halfgeleiderindustrie en helpt de Nederlandse industrie zijn concurrentievoordeel te behouden.
Terahertz Tomography for Heterogeneous Systems on Chip (TERATOM)
Hoofdaanvrager: prof. dr. J. Gómez Rivas – Technische Universiteit Eindhoven
Medeaanvrager(s): prof. dr. P.C.M. Planken (ARCNL), prof. dr. K. Matters-Kammerer (Technische Universiteit Eindhoven), dr. J.L.M. van Mechelen (Technische Universiteit Eindhoven), dr. ir. A. Andreski (Saxion Hogeschool), dr. Y. Tykhonenko-Polishchuk (Saxion Hogeschool)
In de chipindustrie is er een sterke noodzaak om de kwaliteit van gegroeide halfgeleidermaterialen te bepalen. Ons onderzoek gaat het mogelijk maken om in deze materialen met terahertz electromagnetische straling heel lokaal belangrijke materiaaleigenschappen, zoals elektrisch geleidbaarheid, te meten op verschillende dieptes in het materiaal, zonder het te beschadigen of zelfs maar aan te raken. Door een prototype te realiseren dat snel volledige wafers kan scannen, kunnen Nederlandse halfgeleiderbedrijven hun productie optimaliseren en hun kosten verlagen. Dit zal leiden tot minder afval en tot een duurzamere productie van halfgeleiderapparaten.
Optimized Low-Voltage Multi-Beam Electron Microscope and High Throughput CL detection
Hoofdaanvrager: dr. ir. J.P. Hoogenboom – Technische Universiteit Delft
Medeaanvrager(s): Prof. Dr. A Polman (AMOLF)
Met elektronen microscopie kunnen materialen met de hoogst mogelijke resolutie worden bekeken. Dit is cruciaal voor zowel kwaliteitscontrole bij de productie van computer chips als voor onderzoek naar het ontstaan van bijvoorbeeld hersenziektes. Momenteel belichten elektronen microscopen een preparaat met maar 1 bundel, wat maakt dat ze te langzaam zijn om preparaten groter dan ongeveer 1 mm te bekijken. De onderzoekers gaan met behulp van een aantal innovaties belichting met meerdere bundels tegelijk mogelijk maken. Daarnaast maken zij de microscoop heel gevoelig voor signalen die specifiek door defecten worden gegenereerd.
Enhanced bioluminescence for automated microbial contamination detection
Hoofdaanvrager: dr. O.S. Ojambati – Universiteit Twente
Medeaanvrager(s): prof. dr. ir. A.Y. Mersha (Saxion Hogeschool)
Dit project zal een snel, kosteneffectief en zeer gevoelig detectiesysteem voor microbiële besmetting ontwikkelen. Door de ATP-bioluminescentie te verbeteren met geavanceerde nanotechnologie en automatisering, streven we ernaar de volksgezondheid, de voedselveiligheid en de farmaceutische kwaliteitscontrole te verbeteren, waardoor geavanceerde microbiële tests voor iedereen toegankelijk worden. Om dit doel te bereiken zullen we nanofotonische structuren gebruiken om de bioluminescentie-intensiteit te verbeteren en robotica en kunstmatige intelligentie benutten om de procedure te automatiseren.
AI-driven Holistic Design and Control Tools For Planar Motors
Hoofdaanvrager: dr. ir. R. Tóth – Technische Universiteit Eindhoven
Medeaanvrager(s): prof. Dr. Ir. M. Langelaar (Technische Universiteit Delft), prof. Dr. E.A. Lomonova (Technische Universiteit Eindhoven)
De toeemende verwachtingen en markteisen ten aanzien van de halfgeleiderindustrie drijven het ontwerp van mechatronische systemen met hoge precisie naar ongekend hoge specificatie eisen en complexiteit. De conventionele iteratieve ontwerpconcepten voor de mechanische (ME), elektromagnetische (EM) en control (CT) deelgebieden zijn niet meer afdoende. In dit baanbrekende onderzoek bundelen toonaangevende onderzoeksgroepen van TU/e, TUDelft en belangrijke bedrijven in de sector voor halfgeleiderfabricage apparatuur hun krachten om een AI-gedreven optimalisatieproces te ontwikkelen voor het gezamenlijk optimale ontwerp van de ME-topologie en EM-layout van hoog precieze planaire actuatoren samen met de betrokken regelalgoritmen in een holistisch geautomatiseerde aanpak.
CHiPS: Compact High-Performance Sensors
Hoofdaanvrager: dr. N. Bhattacharya (Technische Universiteit Delft)
Medeaanvrager(s): dr. Ir. J. van Heijningen (NIKHEF), dr. S.H. Hossain Nia Kani (Technische Universiteit Delft), prof. dr. ir. J.L. Herder (Technische Universiteit Delft)
De halfgeleiderindustrie heeft snellere nauwkeurigere machines nodig. Het CHiPS-project is gericht op het creëren van geavanceerde sensoren om trillingsproblemen in de productie van halfgeleiders op te lossen. Ons doel is om zeer gevoelige sensoren te ontwerpen die met extreme precisie kleine bewegingen kunnen meten. Deze sensoren zullen klein zijn, de grootte van een koffiekopje, en veel gevoeliger dan huidige technologie. Een team van Nikhef en TU Delft, met expertise in zwaartekrachtsgolvenwetenschap en halfgeleidertechnologie, leidt dit project. Belangrijke industriële partners, waaronder ASML, DEMCON, Settels Savenije, IBS-Precision Engineering en IDE, zijn betrokken bij de ontwikkeling en het gebruik van deze nieuwe technologie.