Partnerverhaal | Nearfield Instruments in Semicon04
Scanning probe microscopy transformeren naar geavanceerde geautomatiseerde metrologie in Semicon04
Nearfield Instruments is een fabrikant van metrologiesystemen voor halfgeleiders die baanbrekende oplossingen voor procescontrole levert aan de wereldwijde industrie voor geavanceerde halfgeleiderproductie. De kerntechnologie van de producten van Nearfield Instruments is scanning probe microscopy (SPM). Om hogere en efficiëntere reken- en geheugenprestaties te behalen en optimaal gebruik te maken van de beschikbare waferruimte, zullen verbonden apparaten krimpen tot atomaire schaalafmetingen, met behulp van nieuwe materialen, terwijl ze tegelijkertijd in volledig driedimensionale configuraties worden ontworpen.
Sinds de oprichting door Hamed Sadeghian en Roland van Vliet streeft Nearfield Instruments ernaar om deze trends op een technologisch en economisch haalbare manier te ondersteunen door innovatieve oplossingen te ontwikkelen voor uitdagingen op het gebied van procescontrole in de premium nano-elektronica-industrie.
Als partner binnen NXTGEN Hightech zet Nearfield Instruments zich in voor het vergroten van de doorvoer van metrologiesystemen. Binnen het programma zal NFI de volgende generatie SPM-tool ontwikkelen met een groter dekkingspercentage van wafers en een hogere doorvoer, wat de positie van NFI als leider in SPM-metrologie voor de meest impactvolle toepassingen zal versterken.
Achtergrond van het project:
(nano) Metrology systems
Dit project is gericht op de ontwikkeling van geavanceerde metrologiesystemen om hightechprocessen zoals de fabricage van geïntegreerde circuits en precisiediagnostiek van biologisch weefsel te versnellen en te verbeteren. De focus ligt op het integreren van systemen voor parallelle data-acquisitie, wat de verwerking en opslag van grote datastromen vereist. Het project streeft naar automatisering en optimalisatie van workflows in laboratoria en productieomgevingen om de efficiëntie te verhogen. Belangrijke onderdelen zijn onder meer de ontwikkeling van snellere en nauwkeurigere metrologiesystemen, het creëren van geoptimaliseerde workflows en het verbeteren van data-analysetechnieken om bruikbare inzichten te halen uit complexe datasets. NXTGEN Hightech brengt in dit project gedurende zeven jaar vijf partners samen.
Rol in Semicon04
Het bedrijf draagt bij aan Semicon04 met unieke expertise in metrologiearchitectuur, van systemengineerings-oplossingen tot databeheer en -verwerking, en ondersteunt daarmee de overgang van microscopie naar metrologie voor de consortiumpartners. Nearfield Instruments werkt aan twee sporen binnen NXTGEN Hightech. Als leider van het werkpakket Systeemengineering analyseert NFI samen met partners de volledige metrologieketen om de architectuur te optimaliseren voor volledig gebruik van gegevens. Dit omvat het ontwikkelen van technische strategieën en algoritmen voor datagevoelige metrologieapplicaties en het extraheren van bruikbare informatie uit grootschalig gegenereerde data.
Parallel hieraan ontwikkelt NFI de volgende generatie SPM-tool met groter waferdekkingspercentage en hoge doorvoer. Dit begint bij afwegingen en haalbaarheidsstudies, gevolgd door het opstellen van specificaties en de implementatie van een prototype.
Voltooide activiteiten
Analyse van de huidige stand van de techniek in metrologiesystemen in samenwerking met Delmic en Technolution.
Definitie van knelpunten, technische strategieën en technologieën voor databeheer in metrologieapplicaties.
Ontwikkeling van machine learning-methoden voor het verbeteren van SPM-afbeeldingen en kwaliteitscontrole van volledig geautomatiseerde sonde-uitwisseling.
Geplande activiteiten
Brainstormen en afwegen van verschillende systeemarchitecturen om een zeer hoge doorvoer SPM-oplossing (VHT-SPM) te realiseren.
Ontwikkeling en validatie van het VHT-SPM-prototype.
Nieuwe en verbeterde oplossingen en algoritmen voor volledige benutting van grootschalig gegenereerde data, zoals geautomatiseerde extractie van bruikbare informatie en het bepalen van meetbetrouwbaarheid.
Expertise van Nearfield Instruments
De expertise van Nearfield Instruments omvat het implementeren van baanbrekende metrologieoplossingen via intensieve R&D-activiteiten op kerntechnologieën, waarbij agile productontwikkeling plaatsvindt in nauwe samenwerking met klanten. Als leverancier van metrologiesystemen aan chipfabrikanten speelt Nearfield Instruments een sleutelrol in het bepalen van de standaarden voor de Nederlandse en Europese toeleveranciers en het beïnvloeden van het Nederlandse halfgeleider-ecosysteem om aan de verwachtingen van klanten te voldoen.