Semicon 09: NXTGEN Inlite (Inspiring Novel Light-Integrated Technology & Equipment)

In dit project wordt gewerkt aan het ontwikkelen van productieapparatuur voor geïntegreerde fotonica om de massaproductie van deze componenten en devices mogelijk te maken. Het project focust op het standaardiseren van zowel front-end als back-end productieprocessen voor het vervaardigen van wafers met Photonic Integrated Circuits.

Het doel is om machines te ontwikkelen voor verschillende productfamilies, die gebruikmaken van standaard substraten zoals SiN en InP. Deze ontwikkelingen zijn cruciaal voor het assembleren van de componenten, waarbij verschillende koppelmethodes worden geïntegreerd. Daarnaast streeft het project ernaar nieuwe procesinnovaties te ontwikkelen in technieken zoals PLD en CVD.

Een reeks partnerverhalen over de projectpartners zijn beschikbaar als download.