Partnerverhaal | ARCNL in Semicon04
ARCNL: Pionier in sensortechnologie en dataverwerking in Semicon04
ARCNL voert fundamenteel onderzoek uit, gericht op de natuurkunde en chemie die een rol spelen in huidige en toekomstige sleuteltechnologieën binnen nanolithografie, voornamelijk voor de halfgeleiderindustrie. Hoewel de academische omgeving en onderzoeksstijl zijn afgestemd op het nastreven van wetenschappelijke excellentie, zijn de onderwerpen in het onderzoeksprogramma van ARCNL nauw verbonden met de belangen van de industriële partner ASML.
ARCNL verwacht significante vooruitgang in onderzoeksvaardigheden en praktische toepassingen via het NXTGEN Hightech-initiatief. Het project sluit aan op hun missiegedreven aanpak, waarbij innovatie vanaf het begin wordt gestuurd door praktische toepassingen. Samen met partners zoals ASML streeft ARCNL naar een overgang van lagere TRL-niveaus (Technology Readiness Levels) naar impactvolle industriële toepassingen, met name voor het meten van complexe geleidbaarheidsparameters.
Achtergrond van het project:
(nano) Metrology systems
Dit project is gericht op de ontwikkeling van geavanceerde metrologiesystemen om hightechprocessen zoals de fabricage van geïntegreerde circuits en precisiediagnostiek van biologisch weefsel te versnellen en te verbeteren. De focus ligt op het integreren van systemen voor parallelle data-acquisitie, wat de verwerking en opslag van grote datastromen vereist. Het project streeft naar automatisering en optimalisatie van workflows in laboratoria en productieomgevingen om de efficiëntie te verhogen. Belangrijke onderdelen zijn onder meer de ontwikkeling van snellere en nauwkeurigere metrologiesystemen, het creëren van geoptimaliseerde workflows en het verbeteren van data-analysetechnieken om bruikbare inzichten te halen uit complexe datasets. NXTGEN Hightech brengt in dit project gedurende zeven jaar vijf partners samen.
Rol in Semicon04
ARCNL leidt Werkpakket 2 (WP 2) "Sensor Technologies" en neemt actief deel aan Werkpakket 4 (WP 4) "Data Processing" binnen het NXTGEN Hightech-initiatief. Deze dubbele rol omvat de ontwikkeling van machine learning (ML)-gebaseerde computationele beeldvormingstechnieken voor metrologietoepassingen en het verkennen van nieuwe technieken voor submicrometer optische beeldvorming en spectroscopie met behulp van terahertz (THz)-frequenties.
Bijdragen
Machine Learning voor metrologie: ARCNL ontwikkelt op ML gebaseerde methoden om de beeldprestaties en nauwkeurigheid van high-throughput metrologietools te verbeteren. Dit helpt om uitdagingen zoals lagere beeldkwaliteit door hoge datasnelheden aan te pakken.
Terahertz (THz) Microscopie en Spectroscopie: Dit subproject richt zich op het gebruik van THz-frequenties voor optische metrologie van 2D- en 3D-materialen. Deze innovatieve aanpak maakt contactloze metingen mogelijk, wat revolutionair kan zijn voor kwaliteitscontrole in industriële toepassingen.
Voltooide activiteiten
Ontwikkeling van een snelle, niet-iteratieve algoritme voor compressieve beeldreconstructie via een multimodevezel
Publicatie van een onderzoekspaper in het tijdschrift Optics Express op basis van deze resultaten
Geplande activiteiten
Ontwikkeling van een computationeel raamwerk voor simulatie-gebaseerde inferentie (SBI) voor overlaymetrologie
Aanstelling van een promovendus voor het THz-microscopieproject en installatie van een nieuwe laser voor het genereren van THz-licht. De eerste lichtsignalen worden verwacht kort na de ingebruikname van de laser
ARCNL's expertise
ARCNL combineert ML-gebaseerde dataverwerking met geavanceerde optische metrologietechnieken, wat waarde toevoegt aan het NXTGEN Hightech-project. Door vanaf lagere TRL-niveaus te beginnen en te werken naar industriële toepassingen, leveren ze innovaties die de metrologiepraktijk transformeren.