19 maart 2025 5 minutes Leestijd

Partnerverhaal | Workfloor at Semicon08

Workfloor: Naadloze automatisering mogelijk maken in het productie-ecosysteem van fotonische chips

Workfloor biedt software voor het beheren van logistieke processen op de productievloer voor kleine en middelgrote hightechbedrijven. Met een unieke combinatie van uitgebreide kennis van fotonisch geïntegreerde chips (PIC) en jarenlange ervaring in het beheren van productieautomatisering, biedt Workfloor de digitale gegevensverbinding tussen de verschillende delen van de PIC-productielijn. Naast gegevensbeheer zorgen ze ook voor de analyse, waardoor data wordt omgezet in bruikbare informatie.

Project achtergrond:
Metrology Equipment for critical scaling of PIC Production

Binnen dit project worden twee machines ontwikkeld waarmee geïntegreerde fotonische chips getest kunnen worden. Het doel is om met het consortium wereldleider te worden voor visuele en prober test equipment van geïntegreerde fotonica. Hiervoor worden drie generaties machines ontwikkeld waarin fundamenteel onderzoek wordt omgezet tot werkende machines.

Belangrijke rol binnen Semicon08

Binnen het Semicon 08-project ontwikkelt Workfloor de hoog-niveau verbinding met de twee soorten apparatuur die in het project worden ontwikkeld. Wij definiëren de informatie die de machine nodig heeft om te werken. Deze informatie wordt vastgelegd in het recept voor de verschillende apparatuur die binnen het project wordt ontwikkeld. Om deze recepten te creëren, ontwikkelen we browsergebaseerde applicaties. Deze applicaties bieden een gebruiksvriendelijke GUI om de recepten te maken.

Een integraal onderdeel van de recepten zijn de wafer-kaarten. Voor de beschrijving wordt de E142 semi-standaard gebruikt. Op deze manier introduceren ze de halfgeleiderstandaarden in de fotonica-industrie, zodat alles past binnen de bestaande halfgeleiderinfrastructuur.

Dezelfde applicatie wordt ook gebruikt om de testgegevens die terugkomen van de apparatuur te visualiseren. Op basis van deze gegevens, die op verschillende processtappen kunnen worden verzameld, worden de Known Good Dies bepaald. Deze gegevens kunnen opnieuw worden opgeslagen in de E142 wafer-kaart. Naast alleen het verstrekken van de KGD kunnen ook gedetailleerdere informatie worden bekeken, zoals de locatie van gevonden defecten. Deze informatie kan worden geëxporteerd naar GDSII-bestanden, die vervolgens kunnen worden overlapt met de ontwerp-GDS-bestanden.

Deze receptapplicatie is verbonden met de verschillende apparatuur-instanties via ons nieuw ontwikkelde EZ-Gateway-product. De EZ-Gateway zorgt ervoor dat de juiste recepten naar de apparatuur-instanties worden verzonden. Deze gateway maakt gebruik van een message queue-systeem om deze overdracht te verzorgen. De receptapplicatie werkt samen met de EZ-Gateway en met de GUI kunnen Sirius-afbeeldingen worden geladen in een viewer in de browser voor nadere inspectie.

De EZ-Gateway kan ook communiceren met MES-systemen, wat een meer geïntegreerde productieflow mogelijk maakt. Zodra de wafer of de wafercassette in de apparatuur is geladen, wordt de Wafer-ID gecommuniceerd met het MES-systeem. Binnen het MES-systeem wordt de wafer-ID gecontroleerd en wordt de huidige processtap bepaald. Op basis van de productdefinitie en de huidige bewerking wordt het juiste recept naar de apparatuur gestuurd. De apparatuur verwerkt het recept en stuurt de resultaten terug. Het systeem ondersteunt E142-bestanden, waarin de resultaten van verschillende wafers en processtappen worden opgeslagen en waarmee een gecombineerde Known Good Die-map kan worden gemaakt.

Afgeronde activiteiten

De syntaxis en structuur van de recepten zijn gedefinieerd. De Recipe App voor het maken, bewerken en bekijken van recepten, evenals de EZ-Gateway, zijn operationeel. Ze worden nu actief gebruikt om de Helios en Sirius machine te bedienen.

Geplande activiteiten

Uitgebreidere recepten zullen worden gedefinieerd voor de Sirius SECS/GEM-interfaces naar MES-systemen. De data-analyse zal worden uitgebreid, waardoor bruikbare gegevens worden verkregen voor de verdere verwerking van de dies.

Expertise van Workfloor

Met een unieke combinatie van uitgebreide kennis van fotonisch geïntegreerde chips (PIC) en jarenlange ervaring in het beheren van productieautomatisering, biedt Workfloor de digitale gegevensverbinding tussen de verschillende onderdelen van de PIC-productielijn. Na het starten van een bedrijf voor ontwerpdiensten voor PIC, waaronder het ontwerpen van op polymeer gebaseerde PIC's voor Akzo Nobel, hebben we de software die hiervoor werd gebruikt gecommercialiseerd. Deze software werd wereldwijd verkocht aan bedrijven zoals IBM, Samsung en Intel.

Workfloor heeft de kans om een gezond PIC-ecosysteem in Nederland te ontwikkelen, maar dit kan alleen als we het momentum behouden en ons volledig blijven inzetten voor dit soort projecten.

Conclusie

We verwachten dat NXTGEN Hightech zich blijft inzetten voor deze investering in het PIC-ecosysteem. NXTGEN Hightech biedt een unieke kans om echte productietools in het PIC-ecosysteem te integreren. Deze tools zullen aanzienlijk bijdragen aan de groei en rijping van het PIC-ecosysteem. Dit zal uiteindelijk resulteren in producten van hogere kwaliteit die voldoen aan de eisen van klanten.

Het huidige gebrek aan professionele apparatuur is een van de belangrijkste redenen waarom het PIC-ecosysteem nog in de prototypefase zit met een lage opbrengst. De toegevoegde waarde van dit project is daarom een cruciale bijdrage aan de ontwikkeling van een gezond en duurzaam PIC-ecosysteem.

Want to know more?

Download this story in PDF, or contact us below.